
고응답・고안정・고분해능・정전용량 방식 비접촉 변위계
PS-IA-HS는 독자적인 기술에 의한 정전용량 방식을 채용하여 고응답・고안정・고분해능・범용성을 실현 초정밀 비접촉 변위계입니다.
많은 도입 실적이 있어 높은 평가를 얻고 있는 PS-IA의 응답 속도를 5kHz로 높였습니다. 종래, 측정이 어려웠던 고속의 변위 현상의 측정을 가능하게 합니다..
기본 사양:
■ 원터치로 출력을 제로 리셋 기능, NEAR / FAR LED 표시기 멀티 채널 작동 기능이,
PS-IA 한 대로 다양한 용도로 응용이 가능합니다.
■ 모델PS-IA 기본 출력 전압 범위0 ~ 10V
■ 출력 단자BNC 커넥터
■주파수 특성DC ~ 5kHz
■사용 온도 범위10 ~ 40 ℃
■전원DC24V, 0.2A 또는 AC220V (AC 어댑터 사용)
■외형 치수110W × 30H × 162Dmm 무게380g (본체 만)



■ 앰프 사양
원터치로 출력을 제로로 하는 리셋 기능, NEAR/FAR LED 표시기, 멀티 채널 동작 기능 등, 이 1대로 다양한 용도에 응용이 가능합니다.
| 형식 | PS-IA-HS |
|---|---|
| 기본 출력 전압 범위 | 0~10V |
| 출력 단자 | BNC 커넥터 |
| 주파수 특성 | DC~5kHz |
| 사용온도범위 | +10~+40℃ |
| 전원 | AC100~240V(±10%)(Free 전원 50/60Hz) DC24V 0.5A (DC 전원은 주문시 지정) |
| 외형치수 | 110W×30H×162Dmm |
| 무게 | 380g(본체만) |
■ 표준 프로브 사양
프로브 내부에는 전자 회로가 없으므로 컴팩트한 프로브가 가능합니다. 진공 대응 등 특주 대응도 가능합니다.

| 형식 | 외경(mm) | 오프셋(μm) | 범위(μm) | 분해능(nmrms) | 직선성(%) | 프로브 길이(mm) | 케이블 길이(m) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| △X□□-30 | 4 | 10 | 30 | 3 | ±0.05 | □□= 5 10 30 | 2(표준) |
| △X□□-50 | 10 | 50 | 4 | ||||
| △X□□-100 | 10 | 100 | 8 | ||||
| △Y□□-50 | 6 | 10 | 50 | 4 | |||
| △Y□□-100 | 10 | 100 | 8 | ||||
| △Y□□-250 | 25 | 250 | 20 | ||||
| △Y□□-500 | 50 | 500 | 40 | ±0.1 | |||
| △Z□□-500 | 12 | 50 | 500 | 40 | ±0.05 | □□= 10 30 | |
| △Z□□-1000 | 100 | 1000 | 80 | ±0.1 | |||
| △T□□-3000 | 30 | 300 | 3000 | 180 | ±0.05 | □□= 15 30 | |
| △T□□-5000 | 500 | 5000 | 300 | ±0.2 |
△는 케이블 인출방향 △= R(Round angle 방향) or A(Straigt 방향)
X=외경Φ4, Y=외경Φ9, Z=외경Φ12 , T=외경Φ30
□□=5,10,15,30 프로브 길이(mm)
■ 표준 사각 플랜지형 프로브 사양

| 모델 | FY1506-30 | FY1506-50 | FY1506-100 | FY1506-250 |
|---|---|---|---|---|
| 외경 | 5mm | |||
| 목표 최소 직경 | 4.4mm | |||
| 오프셋 | 15 μm | 15 μm | 15 μm | 25 μm |
| 범위 | 30 μm | 50 μm | 100 μm | 250 μm |
| 해상도 (PS-IA-HS) | 3nm rms | 4nm rms | 8nm rms | 20nm rms |
| 선형성 | ±0.05% | |||
| 케이블 길이 | 2m(표준) | |||
| 모델 | FE1506-100 | FE1506-250 | FE1506-500 | FE1506-750 |
|---|---|---|---|---|
| 외경 | 7mm | |||
| 목표 최소 직경 | 6.2mm | |||
| 오프셋 | 20 μm | 25 μm | 50 μm | 75 μm |
| 범위 | 100 μm | 250 μm | 500 μm | 750 μm |
| 해상도 (PS-IA-HS) | 8nm rms | 20nm rms | 60nm rms | 120nm rms |
| 선형성 | ±0.05% | ±0.1% | ||
| 케이블 길이 | 2m(표준) | |||
| 모델 | FZ2006-500 | FZ2006-750 | FZ2006-1000 | FZ2006-1500 |
|---|---|---|---|---|
| 외경 | 11mm | |||
| 목표 최소 직경 | 10.4mm | |||
| 오프셋 | 50 μm | 75 μm | 100 μm | 150 μm |
| 범위 | 500 μm | 750 μm | 1000 μm | 1500 μm |
| 해상도 (PS-IA-HS) | 40nm rms | 60nm rms | 140nm rms | 240nm rms |
| 선형성 | ±0.05% | ±0.1% | ||
| 케이블 길이 | 2m(표준) | |||
| 모델 | FK4006-500 | FK4006-1000 | FN4006-1000 | FN4006-2000 |
|---|---|---|---|---|
| 외경 | 15mm | 19mm | ||
| 목표 최소 직경 | 15mm | 18mm | ||
| 오프셋 | 50 μm | 100 μm | 100 μm | 200 μm |
| 범위 | 500 μm | 1000 μm | 1000 μm | 2000 μm |
| 해상도 (PS-IA-HS) | 40nm rms | 80nm rms | 80nm rms | 160nm rms |
| 선형성 | ±0.05% | |||
| 케이블 길이 | 2m(표준) | |||
| 모델 | FT4006-3000 | FT4006-5000 | FU5006-5000 | FU5006 -10000 |
|---|---|---|---|---|
| 외경 | 29mm | 39mm | ||
| 목표 최소 직경 | 28mm | 38mm | ||
| 오프셋 | 300 μm | 500 μm | 500 μm | 1000 μm |
| 범위 | 3000 μm | 5000 μm | 5000 μm | 10000 μm |
| 해상도 (PS-IA-HS) | 240nm rms | 480nm rms | 400nm rms | 1200 nm rms |
| 선형성 | ±0.1% | ±0.3% | ±0.1% | ±1.0% |
| 케이블 길이 | 2m(표준) | |||
■ 앰프 사양
PS-IA는 원터치 제로 리셋 기능, 근거리/원거리 LED 표시, 다채널 작동성 등 다양한 기능을 갖추고 있어 폭넓은 응용 분야에 사용할 수 있습니다.
| 모델 | PS-IA-HS | PS-IA-HS(B)(옵션) |
|---|---|---|
표준 전압 출력 범위 | 0~10V | -5V ~ +5V |
| 출력 단자 | BNC 커넥터 | |
| 주파수 특성 (≧-3 dB) | DC ~ 5kHz | |
| 작동 온도 범위 | +10~+40℃ | |
| 작동 전압 | 교류 100~240V(±10%)(50/60Hz 무상 전원 공급) 직류 24V 0.5A(직류 전원 공급용 케이블은 별도 판매) | |
| 치수 | 110W×30H×162D mm | |
| 무게 | 360g (본체) | |
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